Prüf- und Prozesstechnik für die Halbleiterindustrie:
Absolute Präzision für höchste Ansprüche
Ausfällen in der Halbleiterindustrie sicher vorbeugen
Die Halbleiterindustrie ist ein Feld der Superlative: Miniaturisierung, höchste Reinheitsgrade und komplexe Fertigungsprozesse prägen den Alltag. In der Prüf- und Prozesstechnik bedeutet das: absolute Präzision, lückenlose Kontrolle und die Fähigkeit, selbst kleinste Abweichungen zu detektieren. Fehler in der Produktion sind nicht nur kostspielig, sondern können ganze Chargen unbrauchbar machen. Anlagen, die zuverlässig, dokumentiert und revisionssicher in Serie laufen und dabei höchste Reinheitsanforderungen erfüllen, sind ein Muss.
Worauf es in der Halbleiterfertigung ankommt
Reinraumtauglichkeit
Anlagen und Prozesse müssen höchste Reinheitsstandards erfüllen.
Mikropräzision
Kleinste Toleranzen und hochgenaue Messungen sind entscheidend.
Prozessstabilität
Jede Schwankung kann die Qualität empfindlicher Bauteile beeinträchtigen.
Rückverfolgbarkeit
Lückenlose Dokumentation jedes Fertigungsschritts ist unerlässlich.
Anlagen abgestimmt auf Halbleiterprozesse
Unsere Prüf- und Prozessanlagen werden so ausgelegt, dass sie stabil in Reinraumumgebungen laufen und sich nahtlos in Ihre hochsensiblen Fertigungslinien integrieren. Taktzeit, Prüfablauf und Prozessverhalten werden gezielt aufeinander abgestimmt, um höchste Ausbeuten zu sichern.
- Auslegung für Reinraumklassen bis ISO 5
- Integration in bestehende Fertigungslinien
- Stabile und wiederholbare Abläufe bei Mikropräzision
- Minimierter Einfluss auf den Produktionsfluss
Messung unter Reinraumbedingungen
Empfindliche Bauteile werden unter Bedingungen geprüft, die dem späteren Einsatz und den Reinheitsanforderungen entsprechen. Druckverläufe, Leckraten und Grenzbereiche werden gezielt definiert, um aussagekräftige Ergebnisse zu erhalten, die die Integrität Ihrer Produkte garantieren.
- Definierte Druckauf- und -abbauprofile für empfindliche Komponenten
- Abbildung dynamischer Belastungen ohne Kontamination
- Reproduzierbare Testbedingungen unter Reinraumbedingungen
Typische Aufgabenstellungen in der Halbleiterindustrie
Waferkanten
Kantenverrundung zur Vermeidung von Absplitterungen und Beschädigungen.
Züchtungstiegel
Oxidation zum Schutz vor Verschleiß und unerwünschten Materialreaktionen.
Halbleitermaterialien (Germanium)
Zonenschmelzen zur gezielten Reinigung und Gefügeoptimierung des Materials.
Volumenkristalle
Kristallzüchtung (PVT, VGF etc.) zur Herstellung hochreiner Einkristalle für die Waferproduktion.
Wafer
Geometrie- und Topographieprüfung zur Sicherstellung exakter Dimensionen und Ebenheit.
Wafer aus Verbindungshalbleitern
Ätzprozess zur rückstandsfreien Oberflächenbehandlung und Reinigung.
So haben wir es für andere gelöst
Erfahren Sie, wie Unternehmen mit Lösungen von aprotec unterschiedlichste Branchenanforderungen meistern und ihre Prozesse gezielt verbessern. Die Praxisbeispiele zeigen, wie Effizienz gesteigert und individuelle Herausforderungen erfolgreich gelöst werden – lassen Sie sich davon für Ihre eigenen Projekte inspirieren.
Prüf- und Testanlage
- Prüf- und Testanlage
- • Automobilindustrie
Helium-Dichtheitsprüfung für Sicherheitsventile
- Vollautomatische Funktions- und Sitzdichtheitsprüfung
- für verschiedene Ventilvarianten
- 8 s Helium-Lecksuche Taktzeit je Bauteil
- 10-5 mbar·l/s Leckrate nachweisbar (Helium)
- 95 Bar Prüfdruck
Prüf- und Testanlage
- Prüf- und Testanlage
- • Subsea
Tiefseesimulator
- Vollautomatischer Hochdruck-Prüfstand
- 800 Bar Prüfdruck
- enormes Prüfraumvolumen
Prüf- und Testanlage
- Prüf- und Testanlage
- • Semiconductor
WaferVision HSM-200
- ISO 5 Reinraumtaugliche High-Speed-Messanlage
- 130 Wafer Pro Stunde
- 50 nm Wiederholgenauigkeit Dicke
- Vollautomatisiert
- 4“ bis 8“ Wafergröße
Prüf- und Testanlage
- Prüf- und Testanlage
- • Automobilindustrie
Helium- Dichtheitsprüfanlage
- 8 s Helium-Lecksuche Taktzeit je Bauteil
- 10-6 mbar·l/s Leckrate nachweisbar (Helium)
- 5 Bar Prüdruck mit 10 % Helium
Zonenschmelzanlage
- Reinigung von Halbleitermaterialien
- schmale Schmelzzone
- Aufreinigen durch Schmelzen und Erstarren
Warum Aprotec?
Direkter Kontakt
Sie sprechen mit den Verantwortlichen, nicht über mehrere Ebenen
Breite Prüftechnik statt Einzellösung
Druck-, Dichtheits-, Funktions- und Messprüfungen lassen sich in einer Anlage kombinieren
Erfahrung mit unterschiedlichen Prüfaufgaben
Von einfachen Serienprüfungen bis zu komplexen Sonderanwendungen
Auslegung auch für Grenzbereiche
Hohe Drücke, kleinste Leckagen oder präzise Messanforderungen werden gezielt abgebildet
Skalierbar von Einzelprüfung bis Serie
Manuelle Prüfplätze bis vollautomatisierte Anlagen mit Taktbetrieb
Von Experten beraten lassen
Sie haben Fragen oder sind sich noch nicht sicher, welche Anlage die richtige für Ihre Anforderungen ist?
Kein Problem. Wir beraten Sie gerne persönlich und finden gemeinsam die passende Lösung für Ihre Anwendung. Profitieren Sie von unserer langjährigen Erfahrung, einer ehrlichen Einschätzung und einer professionellen Beratung. Unverbindlich und auf Ihre Anforderungen abgestimmt.
Ansprechpartner
Michael Landgraf
Geschäftsführer
- m.landgraf@aprotec-gmbh.de
- +49 9353 982460-11